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硅集成电路工艺基础（第二版） 
定 价：52 元 丛书名：21世纪微电子学专业规划教材
9 7 2 8 4 7 1 3 0 0 9 1 7
本书是《硅集成电路工艺基础》的第二版教材，作者在第一版的基础上系统的讲述了硅集成电路制造的基础工艺，加深了工艺物理基础和基本原理的介绍。增加了工艺集成例子的介绍。
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