产业专利分析报告（第84册）——高端光刻机_国家知识产权局学术委员会_9787513081955

本书是高端光刻机领域的专利分析报告，从该领域的发展概况、专利壁垒指数模型研究、竞争情报、主要技术分支专利等方面入手，充分结合相关数据展开分析，得出扎实的研究结论和相关建议。本书是企业了解高端光刻机领域技术发展现状并预测未来走向，以及做好专利预警所需的必备工具书。

第1章概况 1.1研究背景 1.1.1技术发展概况 1.1.2产业现状 1.1.3产业发展趋势 1.2研究对象和方法 1.2.1研究对象 1.2.2研究方法 1.2.3相关事项和约定第2章专利壁垒指数模型研究 2.1研究意义 2.2研究对象 2.3研究优势 2.4专利壁垒指数模型 2.4.1建立流程 2.4.2相关因素第3章高端光刻机全球竞争情报分析 3.1高端光刻机专利总体竞争态势 3.1.1总体申请趋势 3.1.2原创目标国家地区专利申请分布 3.1.3重要申请人分析 3.2全球科技文献技术情报分析 3.3各领域申请趋势及布局趋势分析 3.3.1曝光系统 3.3.2工件台及测量系统 3.3.3环境与真空 3.4ASML专利分析 3.4.1ASML成长经历 3.4.2ASML专利申请与布局 3.4.3ASML科技文献信息分析 3.5中国申请人专利分析 3.5.1专利申请趋势分析 3.5.2申请人构成分析 3.5.3申请人的各技术分支申请分布 3.5.4重要申请人分析 3.6本章小结第4章 EUV光源专利分析 4.1EUV光源技术介绍 4.2专利竞争态势分析 4.2.1申请态势 4.2.2专利区域分布 4.2.3重要申请人分析 4.3技术路线分析 4.3.1提高转换效率 4.3.2减少污染 4.3.3提高稳定性 4.4重要专利技术介绍 4.5全球科技文献情报分析 4.5.1EUV光源提高转换效率 4.5.2防止EUV光源污染 4.5.3提高稳定性 4.5.4全球科技文献情报分析小结 4.6技术发展趋势预测 4.7专利壁垒研究 4.8技术未来发展预测与中国技术发展路线 4.8.1借鉴G公司准分子激光器技术可行性分析 4.8.2人才战略资源导航 4.8.3专利可利用性浅析 4.9本章小结第5章投影物镜专利分析 5.1投影物镜技术介绍 5.2专利竞争态势分析 5.2.1申请态势 5.2.2专利区域分布 5.2.3主要申请人分析 5.3技术路线分析 5.3.1膜层设计 5.3.2多镜投影物镜系统整体设计 5.4重要专利技术介绍 5.5全球科技文献情报分析 5.6技术发展趋势预测 5.7投影物镜专利壁垒研究 5.8反射镜镀膜专利技术的充分利用 5.9本章小结第6章主要结论和建议 6.1主要结论 6.2主要建议附录附录1申请人名称约定表附录2EUV光刻机重要专利列表附录3可被借鉴的部分专利列表图索引表索引

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