洁净室的检测与运行管理(第二版)(Testing and Running Management for Cleanroom (second edition))
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- 作者:涂有,涂光备
- 出版时间:2020/12/1
- ISBN:9787112256648
- 出 版 社:中国建筑工业出版社
- 中图法分类:TU
- 页码:
- 纸张:胶版纸
- 版次:2
- 开本:小16开
本书在*版的基础上*行改写,根据目前洁净室新的技术发展以及现行国际标准、国家标准的要求,对绝大部分内容*行了修订。特别是增加了洁净室的运行管理规章制度等相关内容,对洁净室安全、节能运行具有很好的借鉴意义。本书的第二版紧跟洁净技术发展的形势,把近年来我国洁净室及相关受控环境领域的技术*步和科研成果反映出来,供相关从业人员和准备入行的学者查阅、参考。在本书的一些相应章节中也介绍了国内这些单位和企业的实践经验和新技术、新产品。
D1章 洁净室及相关受控环境的检测类别与项目
1.1 洁净室及相关受控环境检测的类别
1.2 洁净室及相关受控环境的竣工验收
1.3 洁净室及相关受控环境综合性能评价
1.4 洁净室的性能监测
1.5 洁净室测试时所处的状态
复*思考题
第2章 洁净室及相关受控环境的风量、压差等基础测试项目
2.1 洁净室及相关受控环境的风速与风量测定
2.2 压差测试
2.3 *空气过滤器的检漏
2.4 送风的气流目检
2.5 温度与湿度测试
2.6 密封检漏测试
2.7 噪声、微振动与照度的测试
2.8 静电测试
2.9 隔离测试(B.11)
复*思考题
第3章 空气中悬浮粒子的测试
3.1 空气洁净度等级
3.2 采样点数量及位置
3.3 各个采样点的Z少单次采样量
3.4 测试前的准备工作
3.5 空气中悬浮粒子浓度的采样及数据整理
3.6 按现行国家标准的空气洁净度等级计算例题
3.7 空气中悬浮粒子的一些特殊检测方法
3.8 自净性能测试
复*思考题
第4章 检测仪器、仪表与操作方法
4.1 光散射离散粒子计数器
4.2 气流测试仪表
4.3 压差测定常用仪表
4.5 *空气过滤器安装后的检漏
4.6 温度、湿度、照度、噪声等参数的测量
4.7 静电和离子生成器测试仪表
4.8 粒子沉降检测
4.9 GB/T 25915.3-2010及ISO14644关于洁净室及相关受控环境测试的顺序与仪器
复*思考题
第5章 微生物污染控制与微生物检测
5.1 微生物污染控制的手段与方法
5.2 微生物污染控制原则
5.3 生物污染的检测采样
5.4 生物污染数据的评价
5.5 传统的微生物采样计数设备
5.6 环境微生物的快速测定法
复*思考题
第6章 表面粒子污染及其控制
6.1 洁净室及相关受控环境表面污染的风险
6.2 按粒子浓度划分的表面洁净度等级
6.3 证明表面洁净度符合性的规程
6.4 按粒子浓度确定表面洁净度的测量方法
6.5 表面粒子洁净度的测量方法和设备
6.6 受控环境中颗粒物在表面的沉积
复*思考题
第7章 洁净室及受控环境空气化学污染的控制
7.1 气相空气净化装置的工作原理
7.2 气相空气净化装置的吸附剂材料及构造
7.3 气相空气净化装置的性能
7.4 现场或在线测量设备
7.5 现场采样易地分析技术
7.6 空气悬浮分子污染分级
7.7 防止洁净室及相关受控环境的空气分子污染
7.8 常见空气分子污染物
7.9 微电子工业中的应用
复*思考题
第8章 隔离装置的检测与运行管理
8.1 隔离装置的一些基本概念
8.2 隔离措施及装置在制药等行业的应用
8.3 隔离器的空气处理系统和气体系统
8.4 隔离装置的介入器具
8.5 隔离器实例
8.6 隔离器的传递装置
8.7 隔离装置的检测
8.8 “帕琼”检漏法
复*思考题
第9章 洁净室性能检测报告示例
9.1 检测报告的基本内容
9.2 检测报告的目录及示例
D10章 洁净室污染控制分析与策略
10.1 查清洁净室污染源与传播途径
10.2 危害性分析
10.3 制定危害控制方法与监测方法
复*思考题
D11章 洁净室的制度与纪律
11.1 严格控制*入洁净室的人员
11.2 洁净室内需遵守的纪律
11.3 洁净室工作人员的教育培训
11.4 洁净室工作制度与纪律示例
复*思考题
D12章 洁净室及相关受控环境的人员*出与服装
12.1 工作人员*入洁净室的清洁流程
12.2 洁净服
12.3 洁净室用面罩、头盔、手套
复*思考题
D13章 *入洁净室及相关受控环境的设备和材料
13.1 洁净室固定设备的*入、安装与维修
13.2 材料和便携设备
13.3 通过气闸室传递物品和小件设备
复*思考题
D14章 洁净室及相关受控环境的清洁工作
14.1 洁净室日常清洁的必要性
14.2 表面物理清洁方法
14.3 清洁表面和清洁级别的分类
14.4 洁净室用清洁用具及操作方法
14.5 洁净室清洁用液体
14.6 典型表面清洁的一些注意事项
14.7 洁净室日常清洁方法
14.8 清洁工作的计划与安排
复*思考题
附录 洁净室及相关受控环境系列标准的术语
附录1 ISO14644,ISO14698系列标准按英文字母排序的“术语与定义”
附录2 ISO14644,ISO14698系列标准按序号排序的“术语与定义”
参考文献